項目編號 : 0762-2441CBNB2001
公布日期 : 2024-01-12
受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2024年01月12日在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式,現邀請合格投標人參加投標。
1. 招標條件
項目概況:甬江實驗室因發(fā)展需要,需采購化學機械拋光機(金屬)設備、等離子體增強化學氣相沉積設備、高深寬比磁控濺射設備各1套。
資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。
項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。
2. 招標內容:
招標項目編號:0762-2441CBNB2001
招標項目名稱:甬江實驗室采購化學機械拋光機(金屬)等設備項目
項目實施
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2
等離子體增強化學氣相沉積設備
1套
借助微波或射頻使氣體電離,局部形成等離子體,在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO2、SiNx、SiON、P-doped SiO2、Ge-doped SiO2、BPSG、FSG等薄膜。
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3
高深寬比磁控濺射設備
1套
使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層(Ti或Ta)及電鍍種子層(Cu),防止金屬與Si相互擴散的同時作為后續(xù)電鍍孔內填充金屬的導電層。
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3. 投標人資格要求
3.1特定資格條件:
3.1.1投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商,如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書;
3.2本項目不接受聯(lián)合體投標。
3.3未領購招標文件不可以參加投標。
4.
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來源:中國電力招標采購網?編輯:cbbiddin