EMMI微光顯微鏡項目已具備招標(biāo)條件。資金來源國撥資金。中科信工程咨詢(北京) (招標(biāo)代理機(jī)構(gòu))受南京電子技術(shù)研究所(招標(biāo)人)的委托,對該項目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱:EMMI微光顯微鏡
1.2 招標(biāo)編號:0779-24400465A011
1.3設(shè)備主要功能:使用InGaAs、激光掃描探測器模塊,對芯片內(nèi)部多種缺陷(如PN結(jié)漏電、ESD損傷、氧化層缺陷等)所發(fā)出的不同波長的微光進(jìn)行探測,達(dá)到定位缺陷的目的。
1.4 數(shù)量:1臺。
1.5關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo):
(1)主要功能:
1)*含InGaAs、激光掃描探測器、NIR顯微鏡、8寸探針臺、計算機(jī)、控制軟件等;
2)*通過NIR紅外偏光顯微鏡對芯片進(jìn)行back side穿透性分析,具備正面及背面光子發(fā)光偵測功能;
3)*能夠滿足Si CMOS、GaAs pHEMT、GaN pHEMT等失效芯片的漏電檢測;
4)*具有影像無縫拼接、兩張圖形的自動對比、3D成像、自動影像修復(fù)等功能;
5)* 配備探針臺、防震臺及屏蔽箱。
(2)InGaAs探測器:
1)* 波長探測范圍:覆蓋900nm-1700nm;
2)* 像素尺寸:≤30×30μm;
3)* 相機(jī)分辨率:≥640×512像素;
(3)激光掃描探測器
1)* 激光功率:≥100mW
2)* 激光波長:位于1400±100nm范圍內(nèi)
3)* 像素:≥512×512;
1.6交貨期:合同生效后5個月內(nèi)到貨 。
1.7項目現(xiàn)場:南京電子技術(shù)研究所現(xiàn)場。
2. 對投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織,具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任的能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),投標(biāo)人如果為代理商,應(yīng)提供貨物制造商出具針對本次投標(biāo)貨物的授權(quán)書。[授權(quán)書包括制造商直接開具的;或制造商在中華人民共和國關(guān)境內(nèi)的獨資公司開具的(同時須提供制造商與獨資子公司的關(guān)系說明);或經(jīng)制造商授權(quán)并允許其再授權(quán)的單位開具的(同時須提供制造商與代理商的授權(quán)書)]。
2.3投標(biāo)人近五年(自2019年11月1日至今,以合同簽訂時間為準(zhǔn))須具有至少1臺類似設(shè)備的供貨業(yè)績。有效業(yè)績證明材料以投標(biāo)文件中合同復(fù)印件為準(zhǔn),合同復(fù)印件無法體現(xiàn)類似內(nèi)容的,還須提供合同相關(guān)的可體現(xiàn)類似業(yè)績的技術(shù)協(xié)議或驗收報告或產(chǎn)品彩頁等專家認(rèn)可的佐證說明材料,否則不予認(rèn)可。合同復(fù)印件需能體現(xiàn)出:合同簽約主體(乙方可以是所投產(chǎn)品制造商,也可以是該制造商的代理商)、合同標(biāo)的、設(shè)備臺套數(shù)、簽字蓋章頁、合同簽訂時間等主要內(nèi)容。
2.4 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.5 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
3. 招標(biāo)
4.
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