對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標，于2023-11-24在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:上海交通大學(xué)采購1套感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)，該設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體（ICP）方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。資金到位或資金來源落實情況:已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內(nèi)容招標項目編號:0773-2341SHHW0110招標項目名稱:上海交通大學(xué)感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)項目實施地點:中國上海市招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件！
項目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。
編輯：chinabidding.co
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD) | 1套 | 2.1 反應(yīng)腔室：2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率。側(cè)壁帶加熱功能。★2.1.2 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應(yīng)腔室的開腔破真空。其余詳見“第八章 貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格” | 預(yù)算金額：人民幣335.00萬元。 最高限價：人民幣335.00萬元。 交貨期：簽訂合同后11個月內(nèi) 交付 郵件主題包含：投標人名稱+項目編號+項目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā) 5、投標文件的遞交投標截止時間（開標時間）:2023-12-15 09:30投標文件 評標結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和 公示。7、聯(lián)系方式招標人:上海交通大學(xué)地址:上海市閔行區(qū)東川路800號 |
未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件！
項目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。
編輯：chinabidding.co