上海交通大學(xué)感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)國際招標(biāo)公告(1)

對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2023-11-24在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:上海交通大學(xué)采購1套感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)，該設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體（ICP）方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。資金到位或資金來源落實(shí)情況:已落實(shí)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號:0773-2341SHHW0110招標(biāo)項(xiàng)目名稱:上海交通大學(xué)感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國上海市招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)	1套	2.1 反應(yīng)腔室：2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率。側(cè)壁帶加熱功能?！?.1.2 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應(yīng)腔室的開腔破真空。其余詳見“第八章 貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”	預(yù)算金額：人民幣335.00萬元。 最高限價：人民幣335.00萬元。 交貨期：簽訂合同后11個月內(nèi) 交付 郵件主題包含：投標(biāo)人名稱+項(xiàng)目編號+項(xiàng)目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā) 5、投標(biāo)文件的遞交投標(biāo)截止時間（開標(biāo)時間）:2023-12-15 09:30投標(biāo)文件 評標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和 公示。7、聯(lián)系方式招標(biāo)人:上海交通大學(xué)地址:上海市閔行區(qū)東川路800號

未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
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